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产品详情

型号：定制

品牌：北京七星

用途：2~2000slm精准控制进气量，数字显示

连接方法：直接连接

提示：根据实验要求定制

摘要：
七星气体质量流量计套件由质量流量计，流量显示器组成。量程范围广，从2SCCM~2000SLM可任意选择。

产品应用

质量流量控制器（MFC）用于对气体的质量流量进行精密地测量和控制。广泛用于电子工艺设备、真空镀膜、石油化工、冶金、制药、光纤熔炼、分析测量仪器、制气配气等行业。

气体质量流量计连接图

气体质量流量计侧面图

气体质量流量计显示

★高性能价格比

★橡胶密封、模拟电路的MFC

★管状分流，使用寿命长

产品型号	定制
产品类型	普通型,抗电磁干扰
流量量程	5sccm,10sccm,20sccm,30sccm,50sccm,100sccm,200sccm,300sccm,500sccm,1slm,2slm,3slm,5slm,10slm
产品精度	±1.5％F.S.
重复精度	±0.2% FS
线性	±1％F.S.
响应时间	≤10sec
工作温度范围	(5~45)°C
耐压	3MPa
密封材料	氟橡胶Viton,氯丁橡胶(耐氨橡胶) Neoprene
输入输出信号	(0~5)VDC
电源	±15V
阀类型	常闭
温度系数
零点飘移指标	- 无 -
电气连接	D sub 15 pins Female
工作压差范围	(0.1～0.5) MPa
漏率	1×10-8atm•cc / sec He（1×10-9 Pa•m3 / sec He）
标准接头形式	双卡套Φ8,双卡套Φ6,双卡套Φ3,双卡套1/8”,φ4(内)×1软管接头,VCR1/4”,双卡套1/4”,φ6(内)×1软管接头
表面化学成分	- 无 -
表面粗糙度	- 无 -
抗电磁干扰	CE
重量	1.1Kg