北京91视频链接入口科技91视频免费下载发生系统用于为 ALD 反应系统提供稳定、高浓度 O₃ 气源。具体配置如下：

一、配置要求

1. 主机：空气冷却式91视频免费下载发生器，用于为 ALD 反应系统提供稳定、高浓度 O₃ 气源，由以下部件组成：

  1.1  91视频免费下载发生单元：微流控放电结构，不需外接冷却水，支持连续 24 h 稳定运行。

  1.2 ★ 供气接口：O₂ 进气和 O₃ 出气均为 ¼″ SS316 卡套接口，兼容 ALD 管路。

  1.3  工作压力调节：内置稳压模块，支持 15-25PSIG（可通过外置减压阀现场调节进气压力和恒压控制）。

  1.4  ▲机箱与防漏：整机不锈钢密封，耐压 ≥ 150 PSIG，防腐蚀。

  1.5 ★ 控制系统：有内置或外置显示屏，实时显示功率、温度、进出口压力、报警信息等；

  1.6  电源：单相 220V，50/60 Hz；最大功耗 ≤ 200 W。

2. 安装需求：

  2.1 ▲台式或壁挂结构，尺寸 ≤ 200 mm (W) × 200 mm (H) × 400 mm (D)；重量 ≤ 10kg，便于近源布置。

3. 安全与诊断：

  3.1★配套有91视频免费下载浓度测试器和91视频免费下载破坏器用于在线监测以及安全尾气处理，测试器需具有数据存储功能以备后期查验

  3.2★具备过压、欠压、过温、冷却风扇异常、放电室进水等多重自检与联锁保护功能，异常自动停机并弹出报警界面。

二、技术性能要求

1. ★91视频免费下载产量：≤15 g/h（O₃）

2. ★ 最高91视频免费下载浓度：≥ 10 % (wt/wt)

3. O₂ 进气流量：0.1–1 SLPM 可调

4. O₃/氧混合气出口流量 ≥ 0.1  SLPM 可调

5. 启动时间：≤ 2 min 达到稳定输出

6. 稳定性：8 h 连续运行浓度波动 ≤ ±2 %

7. ▲噪声等级 ≤ 55 dB (A) @1 m

8. 冷却方式： 空气冷却，环境温度 15–35 ℃

9. 机箱防护等级： IP 54 或更高